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高分子材料丨半導(dǎo)體制造中PI特種工程塑料扮演了哪些角色?
- 作者:管理員
- 發(fā)布時(shí)間:2024-07-03
- 點(diǎn)擊:1796
前言
當(dāng)今科技發(fā)展日新月異,科技的進(jìn)步離不開微電子技術(shù)行業(yè)的蓬勃發(fā)展。
近些年來(lái),人工智能(AI)、汽車、通訊設(shè)備、消費(fèi)電子等眾多行業(yè)對(duì)芯片的需求逐年升高,據(jù)統(tǒng)計(jì),2015-2023年間,中國(guó)集成電路產(chǎn)量呈波動(dòng)上升趨勢(shì),2021年產(chǎn)量最高,達(dá)到3594.3億塊,2023年產(chǎn)量為3514.4億塊,同比增長(zhǎng)6.9%,2024年呈現(xiàn)繼續(xù)上升趨勢(shì)。這一現(xiàn)象直接導(dǎo)致全球范圍內(nèi)芯片缺貨漲價(jià)的態(tài)勢(shì)愈發(fā)嚴(yán)重。芯片制造涉及到包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù),以及固體物理、熱力學(xué)、統(tǒng)計(jì)物理學(xué)、材料科學(xué)、量子力學(xué)、電子線路、信號(hào)處理、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、測(cè)試與加工等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域。
芯片制造是微電子學(xué)中的各項(xiàng)工藝技術(shù)的具體實(shí)踐,作為一項(xiàng)極其復(fù)雜且精細(xì)的工藝,芯片的制造質(zhì)量和效率,與特種材料及相關(guān)設(shè)備的質(zhì)量和性能密不可分,行業(yè)認(rèn)為沒有聚酰亞胺就不會(huì)有今天的微電子技術(shù),因此特種工程塑料聚酰亞胺在其中往往備受矚目。
苛刻的環(huán)境
半導(dǎo)體制造過(guò)程之中,對(duì)于污染的控制是關(guān)鍵所在。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步,電子元件的尺寸也隨之越來(lái)越小、結(jié)構(gòu)也越來(lái)越復(fù)雜,這使得他們對(duì)雜質(zhì)的耐受性也大幅度降低。因此,半導(dǎo)體生產(chǎn)需要無(wú)塵清潔、高溫、高腐蝕性化學(xué)品等極端條件下進(jìn)行。
塑料材料的應(yīng)用貫穿了半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程,從晶圓的制備、光刻、刻蝕、離子注入到封裝測(cè)試和包裝等各個(gè)環(huán)節(jié),都發(fā)揮著重要的作用。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)這些塑料材料的性能要求也在不斷提高。
主要應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓生產(chǎn)環(huán)節(jié),化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)是其中關(guān)鍵一項(xiàng)。在 CMP 過(guò)程中,CMP 固定環(huán)起著不可或缺的作用,它負(fù)責(zé)穩(wěn)固地固定硅片和晶圓。為了保障晶圓表面的完好,避免刮傷和污染,所選材料必須性能卓越。
除PPS和PEEK常用于制作CMP固定環(huán),具有耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、優(yōu)異的機(jī)械性能和耐磨性等特性的PI材料也是適合用于制作CMP固定環(huán)的要求。PI制成的CMP固定環(huán)耐磨性比PEEK制品進(jìn)一步提升,使用壽命延長(zhǎng)更久,有助于減少故障停機(jī)時(shí)間,提高晶圓產(chǎn)能。
晶圓的運(yùn)輸和儲(chǔ)存也大量使用到塑料材料,例如晶圓承載盒、晶圓傳送盒、晶舟等。在運(yùn)送晶圓的過(guò)程中容器難免和晶圓接觸,所以在耐溫、優(yōu)良的機(jī)械加工性能、尺寸穩(wěn)定、堅(jiān)固耐用、防靜電、低釋氣、低析出等特性。PI材料的各項(xiàng)優(yōu)異性能也是晶圓載具的不二之選。
在晶圓的封裝和測(cè)試階段,為進(jìn)行電性能測(cè)試、故障檢測(cè)、效率檢測(cè)等多種檢測(cè)類型,半導(dǎo)體封裝測(cè)試插座的存在也是必不可少,其需要具有良好的導(dǎo)電性、尺寸穩(wěn)定性、耐高溫以及良好的機(jī)械加工性能。PEEK、PAI、PI、PEI、PPS等是常用的材料,其中PI制成的測(cè)試座除以上特性外,在高溫下析出率最低,能最大程度上保障晶圓在測(cè)試過(guò)程中的優(yōu)良狀態(tài)。
總結(jié)
PI特種工程塑料的各項(xiàng)優(yōu)異的物理性能,使其在電子電氣、汽車、半導(dǎo)體、航天航空等領(lǐng)域應(yīng)用越來(lái)越廣,如今國(guó)產(chǎn)PI在市場(chǎng)中的比重也越來(lái)越大,黃山金石木塑料科技有限公司是一家從事研發(fā)、生產(chǎn)和銷售高性能聚酰亞胺數(shù)值的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),致力于為客戶提供一體化技術(shù)解決方案和定制化需求。
公司A-PI產(chǎn)品,品類多樣庫(kù)存充足,接受定制,可滿足您不同產(chǎn)品性能需求。開拓進(jìn)取、為客戶創(chuàng)造價(jià)值是我們的使命擔(dān)當(dāng)。
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